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6482型双通道皮安表/电压源提供两个 独立的皮安表/电压源通道,适合需要双通 道测量的多种低电平测量应用。该产品在 测量能力已被证明的吉时利6485型5位半皮 安表的基础上,提高了测量分辨率,增加 了一个第二测量通道以及两个独立的30V电 压偏置源。
由于具有双通道测量能力,6482型双 通道皮安表/电压源成为一个强大的测量 工具,适合分析多通道器件,监控材料中 多个位置的电流,并立即记录来自多传感 器的数据。双通道能力更容易实现控制和 数据聚集。更高的通道密度增加了受限空 间内的仪器数量(和通道)。
主要特点:
- 双通道6位半测量能力
- 双±30V偏置电源
- 测量电流高达20mA
- 测量电流分辨率1fA
- 0–10V模拟输出用于高分辨率 测量反馈
- 支持装配工艺、最终测试、部件 binning和技术规范
- 每通道具3000点缓存,支持测试 完成后数据发送
- 触发连接,用于器件进仓与扫描 测试操作
- IEEE-488与RS-232接口
应用
- 制造元器件测试
- 双二极管测试
- 半导体器件测试
- 多引脚器件测试
- 离子束监测
- 电子显微镜
可编程限幅和滤波器
与吉时利绝大部分仪器一样,对于6482型双通道皮安表/电压源的电流和电压 极限限幅,可以进行编程,以确保关键点(如测试开始)期间的器件保护。这些仪 器还提供均值与中值滤波器,可以用于将数据存储在缓存中。
比率测量或σ测量
6482型双通道皮安表/电压源可以在两个完全隔离的通道之间提供比例测量或 σ测量。通过前面板或GPIB接口可以接入这些功能。对于包括多个探头的测试设 置,这个功能支持目标控制能力。
扩展测试和测量灵活性的特点
• 按比例的电压模拟输出。此输出允许6482型皮安表将测量结果发送至数字多用 表(DMM)、数据采集板、示波器或长图记录仪等设备。
• 220V过载保护。高负载保护和坚固设计能让6482型皮安表耐受过量溢出。
• 一键式前面板设计。按一次按钮就能轻松配置功能,无需复杂的功能菜单。
• 内建触发链路接口。触发链路接口简化了6482型皮安表与其它仪器及电压源的 同步。此接口在单个连接器上结合了6种单独可选的触发线路,以实现轻松、 直接地控制系统中的全部仪器。
• RS-232和IEEE-488接口。这些接口能轻松将6482型皮安表集成进自动测试和测 量系统中。
• 显示on/off开关。对于光敏器件的研究,如测量光电二极管的暗电流,可以关 闭前面板显示,以防引入光线而导致测量结果准确性大幅降低。
• REL和LOG功能。6482型皮安表能针对基线值进行相对读数,或者显示测量电流 绝对值的对数。
• 后面板三同轴输入。三同轴输入确保好的噪声保护。其包括的Triax-BNC适 配器,允许在不太介意噪声的现场部署便宜易用的BNC电缆。
技术指标适用的条件
本文介绍了6482型双通道皮安表/电压源的技术指标和补充说明。这些技术指标是测试6482型双通道皮安表/ 电压源依据的标准。在出厂时,6482型双通道皮安表/电压源符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范 围内,适用于23°C,仅用作有效信息。
精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。
6482型仪表提供两个独立的皮安表/电压源通道,适合多种测量应用。在6482型仪表的背板上包括每个通道 的模拟输出插孔。
这些源和测量精度在下列条件下适用于6482型终端。
1. 23°C ±5°C,相对湿度<70%
2. 经过1小时的预热
3. 普通速度(1 NPLC)
4. 启用A/D自动调零
5. 归零局部操作
6. 校准周期=1年
测量技术指标1
量程 | 最高分辨率 | 精度 1, 2 23° ±5°C ±(% rdg +补偿) |
温度系数 0–18°C & 28–50°C ±(%rdg + 补偿)/°C |
直流输入 阻抗 3 (最大值) |
2.000000 nA | 1 fA | 1.00% + 2 pA | 0.01 + 200 fA | 20kΩ |
20.00000 nA | 10 fA | 0.40% + 2 pA | 0.01 + 200 fA | 20kΩ |
200.0000 nA | 100 fA | 0.30% + 200 pA | 0.02 + 20 pA | 200 Ω |
2.000000 µA | 1 pA | 0.20% + 200 pA | 0.02 + 20 pA | 200 Ω |
20.00000 µA | 10 pA | 0.10% + 20 nA | 0.01 + 2 nA | 2.0 Ω |
200.0000 µA | 100 pA | 0.10% + 20 nA | 0.01 + 2 nA | 2.0 Ω |
2.000000 mA | 1 nA | 0.10% + 2 µA | 0.02 + 200 nA | 0.2 Ω |
20.00000 mA | 10 nA20.00000 mA | 0.10% + 2 µA | 0.02 + 200 nA | 0.2 Ω |
电压偏移技术指标
量程 | 分辨率 | 精度 23°C ±5°C |
最大电流 | 负载调整率4 | 温度系数 |
±10 V | <400 µV | ±(设置的0.15% + 5 mV) | 20 mA | < 0.30%, 0 - 20 mA | 150 ppm/°C |
±30 V | <4 mV | ±(设置的0.3% + 50 mV) | 20 mA | < 0.30%, 0 - 20 mA | 300 ppm/°C |
模拟输出技术指标
输出电压量程(输出是反相的) 2: 对于正满量程输入,电压输出量程为–10V;对于负满量程输入,电压输出 量程为+10V。
输出阻抗: 1kΩ(典型值)
量程 | 精度 23° ±5°C ±(% rdg +补偿) |
温度系数 0–18°C & 28–50°C ±(%rdg + 补偿)/°C |
典型上升时间 (10% to 90%) |
2.000000 nA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 7 mV | 6.1 ms |
20.00000 nA | 3.0% + 9 mV | 0.11% + 700 µV | 6.1 ms |
200.0000 nA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 395 µs |
2.000000 µA | 3.0% + 9 mV | 0.11% + 400 µV | 395 µs |
20.00000 µA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 135 µs |
200.0000 µA | 2.5% + 9 mV | 0.11% + 400 µV | 135 µs |
2.000000 mA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 21 µs |
20.00000 mA | 2.5% + 9 mV | 0.11% + 400 µV | 21 µs |
典型本底噪声测量的技术指标
典型本底噪声 RMS (1 STDEV), 100个样本 |
||||
量程 | 0.01 NPLC | 0.1 NPLC | 1.0 NPLC | 10 NPLC |
2.000000 nA | 2.5 pA | 1.5 pA | 45 fA | 15 fA |
20.00000 nA | 2.5 pA | 1.5 pA | 45 fA | 15 fA |
200.0000 nA | 200 pA | 120 pA | 2 pA | 500 fA |
2.000000 µA | 200 pA | 120 pA | 2 pA | 500 fA |
20.00000 µA | 20 nA | 12 nA | 200 pA | 50 pA |
200.0000 µA | 20 nA | 12 nA | 200 pA | 50 pA |
2.000000 mA | 2 µA | 1.5 µA | 25 nA | 5 nA |
20.00000 mA | 2 µA | 1.5 µA | 25 nA | 5 nA |
典型速度与噪声抑制
读数/秒 | ||||
分辨率 | GPIB(SCPI) | GPIB(488.1) | NPLC | NMRR |
4位半 | 700 | 900 | 0.01 | — |
5位半 | 60 | 475 | 0.1 | — |
6位半 | 58 | 58 | 1 | 60 dB |
公共指标
源电容:稳定至10.0nF (典型值)。
输入偏置电流5:50fA(最大值)@ 23°C。
输入电压负担6:4.0mV(最大值)。
电压源斜率:3.0ms/V (典型值)。
共模电压:200VDC。
共模隔离度:典型值109Ω并联150nF。
过量程:测量量程的105%。
内存缓冲:6000读数 (2个3000点缓存)。包括 选定的测量值和时标。
可编程性:IEEE-488.2, RS-232, 用户定义的5个 上电状态,外加工厂默认设置和*RST。
输出启动接头:
输出启动:有源低输入。
输入线:SOT (测试开始) 触发输入。
电源:100V, 120V, 220V, 240V (±10%), 50Hz 或60Hz, 50VA(最大值)。
保质期:1年。
EMC:符合欧盟电磁兼容(EMC)指令。
震动:MIL-T-28800F random class 3。
安全性:符合欧盟低压电器指令。
预热:1小时到相关精度。
尺寸:
机架安装:89mm 高 × 213mm 宽 × 370mm 深(3.5 in. × 8.4 in. × 14.6 in.)
台式配置(带手柄和脚): 104mm高 × 238mm 宽× 370mm 深 (4.1 in. × 9.4 in.× 14.6 in.)
重量:23.1kg (10.5 lb.)
工作环境:仅限于室内。
海拔:高于海平面最大2000米(6562 ft)。
工作:温度0°–50°C;相对湿度70% R.H.(最高35°C),在35°–50°C,相对 湿度降低3%/°C。
存储:–25°C 到 65°C。
注
1. 速度= 正常 (1.0 NPLC),筛选。
2. 1年。
3. 在满量程(以及零)输入电流情况下,测量DVin/ΔIin。
4. 在满量程(20mA) 以及零负载电流情况下,测量DVin/ΔIin。
5. 根据设计确定技术指标。
6. 在满量程(20mA) 以及零输入电流情况下,在输入三同轴接头处进行测量。
订购信息
- 6482
- 双通道皮安表/电压源 (120V线路电压)
- 6482/E
- 双通道皮安表/电压源 (220-240V线路电压)
- 6482/J
- 双通道皮安表/电压源 (100V线路电压)
供应附件
- 4802-10
- 低噪声BNC输入电缆, 3m (10 ft)
- 4803
- 低噪声电缆套件
- 7007-1
- IEEE-488屏蔽电缆,长1m (3.3 ft)
- 7007-2
- IEEE-488屏蔽电缆,长2m (6.6 ft)
- 7007-4
- IEEE-488屏蔽电缆,长4m (13.1 ft)
- 7009-5
- RS-232电缆
- 7754-3
- BNC至鳄鱼夹电缆,长0.9m (3 ft)
- 8607
- 香蕉电缆线组,用于模拟输出
- 8501-1
- 触发连接电缆,在每端带有公 小型DIN接头,长度1m (3.3 ft)
- 8501-2
- 触发连接电缆,在每端带有公 小型DIN接头,长度2m (6.6 ft)
- 8502
- 小型DIN接头到6母头BNC接头的适配盒。还包括1根8501-1电缆
- 8503
- DIN- BNC触发连接电缆
适配器
- CS-565
- BNC桶形连接器
- 7078-TRX-BNC
- 母BNC至3槽公三同轴适配器,用于将 BNC电缆接入三同轴夹具
机架安装套件
- 4288-1
- 单固定机架安装套件
- 4288-2
- 双固定机架安装套件
GPIB接口
- KPCI-488LPA
- IEEE-488 接口/控制器,用于PCI总线
- KUSB-488B
- IEEE-488 USB-GPIB接口适配器
提供的服务
- 6482-3Y-EW
- 自发货之日起1年工厂质保延长至3年
- 6482-5Y-EW
- 自发货之日起1年工厂质保延长至5年
- C/6482-3Y-DATA
- 从购买之日起3年内3次(符合Z-540-1) 校准
- C/6482-5Y-DATA
- 从购买之日起5年内5次(符合Z-540-1) 校准
- C/6482-3Y-ISO
- 从购买之日起3年内3次(符合ISO17025)校准
- C/6482-5Y-ISO
- 从购买之日起5年内5次(符合ISO17025)校准