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用于特性分析的灵活编程方式
ACS的特点是脚本编辑器，这是一个独立的工具，带有图形用户界面，用于开发Python代码和TSP®脚本，进行仪表控制、数据分析和系统自动化操作。其提供创建和开发 GUI 设计以及管理用户库和模块的直观方法。
自动化数据收集过程
ACS的晶圆探针自动化选项使您能够轻松将各种常用的半自动或全自动晶片探针台连接到测试设置中，从而可以快速捕获大量数据。此选项包括晶片描述实用程序、具有晶片评等功能的实时晶片图、暗盒样品计划实用程序以及测试后暗盒和晶片查看实用程序。ACS 内置的许多工具和功能都可以增强设备的自动检定能力。
分享测试项目和结果
ACS提供了一组通用的关键元素，可以跨多种硬件配置工作，从而减少了时间并提高了生产率。系统从一个硬件到另一个硬件实现的执行是一致的，因此，例如，很容易将用于单设备组件表征的基础ACS系统的你的测试结果转移到另一个设计用于晶圆级测试的系统。
最大限度地提高 Keithley 硬件的生产率
ACS中的工具简化了测试开发流程，最大限度地提高了与系统相连的每个Keithley仪器的速度。ACS 和 Keithley 基础TSP的硬件一起提供了超高的吞吐量，从而降低了测试成本，不需要您在获得实现目标所需的数据之前花时间学习新的编程概念或语言。
支持的仪器
| 仪器类型 | 型号 | ACS 版本 |
|---|---|---|
| 敏感 | 6200 系列，2182A | ACS 基础版 ACS 标准版 |
| SMU 仪器 | 2600B 系列：2601B、2602B、2604B、2611B、2612B、2614B、2634B、2635B、2636B 2600A 系列： 2601A、2602A、2611A、2612A、2635A、2636A 2400 图形触摸屏系列：2450、2460、2460-NFP、2460-NFP-RACK、2460-RACK、2461、2461-SYS、2470 2400 标准系列：2401、2410、2420、2430、2440 2606B 高密度系列：2606B 适合大功率的 2650 系列：2651A、2657A |
ACS 基础版 ACS 标准版 |
| 参数分析仪 | 4200A | ACS 基础版 ACS 标准版 |
| DMM | DMM7510、DMM6500、2010 系列 | ACS 基础版 ACS 标准版 |
| 交换系统 | 707A/B、708A/B、3700A | ACS 基础版 ACS 标准版 |
| 脉冲发生器 | 3400 系列 | ACS 基础版 ACS 标准版 |
| 探测器 | TEL P8/P12、TEL T78S/80S、ACCRETECH (Tokyo Semitsu) TSK9/UF200/UF3000/APM60/70/80/90、MPI SENTIO TS2000/TS2000-SE/TS2000-HP/TS3000、FormFactor (Cascade) Summit 12000、FormFactor (Cascade) S300、Suss MicroTec PA200/Cascade CM300、Electroglas EG2X/EG4X、Wentworth Pegasus 300S、Signatone CM500、Yang Sagi3、Micromanipulator P300A、 Vector Semiconductor AX/VX 系列、Apolowave AP200/AP300、MJC AP-80、Semiprobe SPFA Prober、 HiSOL | ACS 标准版 |
注：
- ITM 支持 24xx TTI 仪器、26xx 仪器和混合用例。
- 用户可以通过 STM 脚本控制任何 TSP 仪器。现有 ACS STM 库支持每个库定义的特定仪器。
- 用户可以通过 PTM 脚本控制任何仪器。现有的 ACS PTM 库支持每个库定义的特定仪器。
从实验室到晶圆厂的应用
ACS基础版集成测试系统是参数化拣选、高功率半导体器件检定和晶片级可靠性测试等应用的完整解决方案。当配合适合的半自动和全自动探针台，它们的硬件配置和测试项目开发可以很容易地针对特定的任务进行优化。
提高可靠性吞吐量
可靠性测试可提高质量、降低故障率、确保高产量并增加信心。ACS 软件支持用于高容量可靠性测试的 Shared Stress 方法，加快了测试时间。
使用增量模式进行超低电阻测量
2182A/622X 组合非常适合许多纳米技术应用，因为它测量电阻时可以不消耗被测器件 (DUT) 的太多功率，否则可能会导致结果无效，甚至损坏 DUT。使用 ACS 软件执行增量模式测试，将这些敏感的测量结果整合到测试系统中。
用于GaN HEMT I-V 特性分析的电源时序
由于GaN HEMT的“常开”特性，在进行I-V特性分析时需要一个特定的电源时序。ACS软件支持在不破坏器件本身的I-V特性的情况下，对器件的GaN HEMT特性进行电源时序测试。
服务于半导体工作流程中的应用
ACS Basic Edition 和 ACS Standard Edition 软件在整个半导体工作流程中均用于对半导体器件进行广泛的测试，以获得详细的检定。整合 ACS Basic 和 ACS Standard 的测试系统可提供：
- 在设备、晶圆和暗盒级进行测试
- 灵活的配置、软件和应用程序定制
- 交互式和自动化系统操作
- GUI 和脚本工具的强大组合，用于测试模块开发
开发阶段
ACS Basic Edition 软件最适用于组件和分立（封装）半导体器件的参数测试。该软件运用以下特点，最大限度地提高了技术人员与工程师在研发方面的生产力：
- 专为封装器件（MOSFET、BJT、IGBT、二极管、电阻器等）设计
- 丰富的测试库，无需编程即可快速轻松地完成测试设置和执行
- 内置数据分析工具，可快速分析参数数据
- 支持 Keithley 2600B 系列、2400 系列、2651A 系列和 2657A 系列系统 SourceMeter SMU 仪器
集成阶段
集成阶段使用 ACS Standard Edition 软件进行半自动晶圆测试，包括稳定的过程开发和晶圆级可靠性 (WLR)。该软件可用于 SMU-per-pin 系统级测试。ACS WLR 软件提供以下好处：
- 全自动功能，可测试单个晶圆或整个暗盒
- 可实现灵活的测试设置和并行测试的软件
- 可靠性测试模块 (RTM) 符合 JEDEC 标准测试方法
- 支持创建定制的测试模块/程序
生产阶段
ACS 标准版软件还适用于完全集成的机架式自动定制测试系统，用于过程控制监控 (PCM)、晶圆验收测试 (WAT) 和晶粒挑拣。ACS Standard 软件中内置的许多工具和功能可增强 设备的自动检定能力：
- 晶圆和暗盒级自动化
- 将设备和测试映射到站点和子站点的测试图
- 交互式探针台控制模式
- 单个或每个晶圆的吉时利数据文件 (KDF) 和/或 CSV 文件