6517B 静电计/高阻表

电压

5½位量程	分辨率	准确度 （1年）1 18° - 28°C ±(%读数+计数)	温度系数 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%读数+计数) / °C
2 V	10 μV	0.025 + 4	0.003 + 2
20 V	100 μV	0.025 + 3	0.002 + 1
200 V	1 mV	0.06 + 3	0.002 + 1

常模抑制比（NMRR）：2V和20V量程>60dB, 200V量程>55dB。
50Hz或60Hz2。
共态抑制比（CMRR）：直流时>120dB，50Hz或60Hz。
输入阻抗：>200TΩ，并联20pF电容，保护电容<2pF(1MΩ零检查)。
前置放大器输出端的小信号带宽: 典型值100kHz (–3dB)。

注：

1. 适当归零时，5½位，1个PLC (电力线周期)，中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。
2. 线路同步。

电流

5½位量程	分辨率	准确度 （1年）1 18° - 28°C ±(%读数+计数)	温度系数 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%读数+计数) / °C
20 pA	100 aA2	1 + 30	0.1 + 5
200 pA	1 fA2	1 + 5	0.1 + 1
2 nA	10 fA	0.2 + 30	0.1 + 2
20 nA	100 fA	0.2 + 5	0.03 + 1
200 nA	1 pA	0.2 + 5	0.03+ 1
2 μA	10 pA	0.1 + 10	0.005 + 2
20 μA	10 pA	0.1 + 5	0.005 + 1
200 μA	1 nA	0.1 + 5	0.005 + 1
2 mA	10 nA	0.1 + 10	0.008 + 2
20 mA	100 nA	0.1 + 5	0.008 + 1

输入偏置电流：<3fA（典型值）。
温度系数 = 0.5fA/°C，20pA量程。
输入偏置电流噪声：<750aA p-p (capped input)，带宽0.1Hz～10Hz， 阻尼。数字滤波器= 40读数，量程20pA。
输入电压降（典型温度±1°C）：
在20pA, 2nA, 20nA, 2μA与20μA量程时，<20μV。
在200pA, 200nA与200μA量程时，<100μV。
在2mA量程时，<.2mV。在20mA量程时，<5mV。
输入电压降温度系数：在pA, nA与μA量程时，<10μV/°C。
前置放大器建立时间(达到最终值10%)典型值：在pA量程时， 为0.5s (阻尼关闭)和2.0 s (阻尼开启)。在nA量程时，为15ms (阻尼关闭)；在μA量程时，为1ms (阻尼关闭)；在mA量程时， 为500μs (阻尼关闭)。
常模抑制比（NMRR）：在50Hz或60Hz³时，在各个量程均>60dB。

注：
1. 适当归零时，5½位，1个PLC (电力线周期)，中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。
2. aA = 10-18A，fA = 10-15A
3. 线路同步。

电阻(常规方法)

量程	5½位分辨率	准确度 （10-100%量程） 18° - 28°C(1年) ±(%读数+计数)	温度系数 （10-100%量程） 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%读数+计数) / °C	自动电压源	电流量程
2 MΩ	10 Ω	0.125 + 1	0.01 + 1	40 V	200 µ A
20 MΩ	100 Ω	0.125 + 1	0.01 + 1	40 V	20 µ A
200 MΩ	1 k Ω	0.15 + 1	0.015 + 1	40 V	2 µ A
2 GΩ	10 k Ω	0.225 + 1	0.035 + 1	40 V	200 n A
20 GΩ	100 k Ω	0.225 + 1	0.035 + 1	40 V	20 n A
200 GΩ	1 MΩ	0.35 + 1	0.110 + 1	40 V	2 n A
2 TΩ	10 MΩ	0.35 + 1	0.110 + 1	400 V	2 n A
20 TΩ	100 MΩ	1.025 + 1	0.105 + 1	400 V	200 pA
200 TΩ	1 GΩ	1.15 + 1	0.125 + 1	400 V	20 pA

注：
1. 自动电压源欧姆性能指标，适当归零时，5½位，1个PLC (电力线周期)，中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。如果需要用户可选电压，请使用手动模式。手动模式显示通过测 得电流计算出的电阻(高达1018Ω)。其准确度等同于电压源准确度加选定电流量程的准确度。
前置放大器建立时间：在电流性能指标中，为前置放大器建立时间增加电压源建立时间。
超过20GΩ的范围需要根据载荷特性额外设定。

电阻(变换极性法)

变换极性序列可以补偿待测材料或期间的背景（偏移）电流。最大容许偏移为所用电流量程 的满刻度。
使用吉时利8009夹具
可靠性：ΔI_BG × R/V_ALT + 0.1% (1σ) (仪器温度常数±1°C)。
准确度：(V_SRCErr + I_MEASErr × R)/V_ALT
其中：ΔI_BG是测量得到的来自样本和测试夹具的典型背景电流噪声。
V_ALT是使用的变换极性电压。
V_SRCErr是使用V_ALT作为设置的电压源准确度(单位：V) 。
I_MEASErr是使用作为V_ALT /R读数的电流计准确度(单位：A)。

电压源

量程	5½位分辨率	准确度 (1年) 18° - 28°C ±(%读数+计数)	温度系数 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%读数+计数) / °C
100V	5 mV	0.15 + 10 mV	0.005 + 1 mV
1000V	50 mV	0.15 + 100 mV	0.005 + 10 mV

最大输出电流：
100V量程：±10mA, 在<14mA时，采取硬件短路电流保护。
1000V量程：±1mA, 在<1.4mA时，采取硬件短路电流保护。
建立时间：
100V量程：到达额定准确度<8m s。
1000V量程：到达额定准确度<50ms。
噪声(典型值)：
100V量程：<2.6mV rms。
1000V量程：<2.9mV rms。

电荷

量程	5½位分辨率	准确度 （1年）1,2 18° - 28°C ±(%读数+计数)	温度系数 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%读数+计数) / °C
2 nC	10 fC	0.4 + 5	0.04 + 3
20 nC	100 fC	0.4 + 5	0.04 + 1
200 nC	1 pC	0.4 + 5	0.04 + 1
2 μC	10 pC	0.4 + 5	0.04 + 1

注：
1. 性能指标适用于电荷刚采集后。增加
|QAV| (4fA + _____ ) T_A RC 其中，T_A = 电荷归零与测量之间的时间周期（单位：秒）
QAV = 在T_A周期测得的平均电荷，RC = 300,000（典型值）。
2. 适当归零时，5½位，1个PLC (电力线周期)，中值滤波器开启, 数字滤波器 = 10个读数。
输入偏置电流: 典型值时，<4fA。温度系数= 0.5fA/°C，量程2nC。

温度（热电偶）

热电偶种 类	量程	准确度 （1年）1 18° - 28°C ±(%读数+计数)
K	–25°C ～ 150°C	±(0.3% + 1.5°C)

注：1. 不包括探测误差，Tcal ± 5°C, 1 PLC积分时间。

湿度

量程	准确度 （1年）1 18° - 28°C ±(%读数+%RH))
0 - 100%	±(0.3% + 1.5°C)

注： 1. 必须增加湿度探测准确度。对于6517-RH型，为±3% RH，探测环境温度高达65°C， 不超过85°C。

6517B型静电计/高阻表后面板

IEEE-488总线实现

实现：SCPI (IEEE-488.2, SCPI-1999.0)。
从触发到完成读数：150ms典型值，包括外部触发器。
RS-232实现：支持：SCPI 1991.0。波特率: 300, 600, 1200, 2400,4800, 9600, 19.2k, 38.4k, 57.6k与115.2k。
流程控制：无，Xon/Xoff。
连接器：DB-9 TXD/RXD/GND。

公共指标

过量程指示：当读数>105%量程时，显示读数 “OVERFLOW”（超额）。对于 严重过量程情况，显示 “OUT OF LIMIT”（超限）。
量程设置：自动或手动。
转换时间：可选择0.01PLC至10PLC。
最大输入：250V峰值，直流至60Hz正弦波；对于mA量程，每分钟最大值10s。
最大共模电压(直流至60Hz正弦波)：静电计，500V峰值；电压源，750V峰值。
隔离(仪表公共端至底盘)：>1010Ω, <500pF。
输入连接器：后面板包含3个三同轴电缆连接器。
2V模拟输出：对满量程输入，为2V。在电压模式下非反相，测量电流、电阻 或电荷时反相。输出阻抗10kΩ。
峰值输出：为电压测量提供保护输出。在电流和电荷模式下可以用作反相输出 或外部反馈。
外部触发器：TTL兼容的外部触发器与静电计。
保护：切换至可用电压保护。
数字I/O与触发线路：可用，参见使用手册。
EMC：符合欧盟指令89/336/EEC, EN 61326-1。
安全：符合欧盟指令73/23/EEC, EN 61010-1。
读数存储：50,000。
读数率：
至内部缓存：425 读数/秒1
至IEEE-488总线：400读数/秒1,2
总线传输：3300读数/秒2
1. 0.01PLC，数字滤波器关闭，前面板关闭，温度+ RH关闭，线路同步关闭。
2.二进制传输模式。
数字滤波器 ：中值 和平均。
环境：工 作：0 ～ 50°C；相对湿度70%非冷凝，最高35°C。
存储：–25 ～ +65°C。
海拔：最高高出海 平面2000 m，符合EN 61010-1标准。
预热：1小时至额定准确度(关于推荐的程序，参见手册)。
电源：用户可选择100, 120, 220, 240VAC ±10%; 50/60Hz, 100VA最大值。
外形：箱体尺寸：90mm 高× 214mm 宽 × 369mm 长(3½ in. × 8½ in.× 14½ in .)。
工作尺寸：从壳体前面到后面（包括电源线和IEEE-488连接器）：15.5 in。
净重：5.4kg (11.8 lbs.)。
毛重：6.9kg (15.11 lbs.)。